半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
该项目情况
该机构为全国进取的半导体材料测封机构,属于长三角地区形地域,重要使用中低端加工器的划区和封装类型测验。致使本市环保节能规范要求严谨,机构直接决定施实废渣零污染物工程创业项目。创业项目于明年打火,202两年6月开工建设投运,加工占比为200吨/日,总投资加盟约2000多万元。
废水处理营养成分及源
此项为的小学划片废水处理享有低于显著特点:
高密度氟化物,主要来自五湖四海晶圆割切后的除污工艺流程,氟阴离子密度高达hg150-200mg/L
带有微米级硅粉颗粒物,粒度多在100-500nm当中
充分用电负荷较高,COD在500-800mg/L
所含少量巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,基本在2000-3000μS/cm
处置的工艺注意事项
为推动零排卸个人目标,艺设计的侧重于综合考虑化工废水划分类别自身和信息回报:
废气区分抽取设备
:将含氟污污废水 与某些污污废水 错开持续
无机化学乳浊液除氟
:分为有级钙盐奠定法,积极配合便捷奠定池
高等 脱色整理
:二脱色碳崔化脱色化学降解难加工处理巧妙物
膜浓缩液系統
:所采用DTRO碟管式反渗,果汁7的倍数为10倍
汽化结晶体
:MVR机器蒸汽加热再再压缩挥发器外理浓水
空气干燥控制系统
:将晶粒盐变干后看做化工业副厂品外售
正确处理效果好
系统使用动态数据凸显:
氟化物删去率>99.9%,出水出水氟亚铁离子<1mg/L
COD总祛除率>98%,冒水COD<20mg/L
水自然资源收购率>95%,仅发生小量成果盐
每次可利用高产品造纸废水处理水约8万吨
心得盐溶解度高达工業级要求,做到产品化采取
品牌一方面推动了焦化废水零尾气排放标准,还经过产品收购 制造了约80多万元/年的格外收益率。