某半导体芯片厂在加工工作中采用氯化铵系定影液,引发高酸度含NOx化工废水,日加工量50吨。化工废池里含NO2-可以达到2000mg/L,且包含氢化物发生器有机物光刻胶的成分,加工困难程度很大的。
2. 废水处理方法化学物质及來源
定影工艺技术废水(关键生态破坏源)
晶圆的清洗废水处理工艺
烟粉尘洗條塔排水系统
3. 除理加工过程的流程
采取"高等级钝化+二级动物处置"多元化加工:
二阳极氧化碳阳极氧化
:经由臭氧老化进行器导致O3,将难挥发无机物分离为小原子的物质,而且将NO2-氧化的为NO3-。
生态学膜不起作用器(MBR)
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最级:氧气不足室内环境下加药系统甲醇充当碳源,可以淡化反反硝化细菌现象
二级:好氧海洋生物膜进一点分解设计物
分析化学上的深度的处置
:适用钛基镀层电极片,用钛电极功能恢复原状分离残余物污染破坏物。
4. 后面作用
NOx总氮减至8mg/L以内
COD不稳在30mg/L已内
电镀废水循环率达60%
体系进行热耗控住在3.5kWh/吨水,较过去工艺技术高效20%。