该中小企业硅片产量步骤中存在四氟化硅（SiF₄）的有机废气，质量浓度约150-300mg/m³，的有机废气中包含的大量氟化氢（HF）和氮被非金属氧化物（NOx）。 加工处理工学艺 ： 采取“水过滤+碱液结合+活性酶炭过滤”加工制作工艺 ： 水溶解塔 ：SiF₄一旦碰到水体现产生氟硅酸（H₂SiF₆）和HF。 碱液结合 ：NaOH饱和溶液中合酸碱性材质，形成Na₂SiF₆乳浊液。 活性氧炭吸出 ：进步清理残留物氟化物及NOx。 作业体验 ： 处置后工业废气氟化物总质量浓度<3mg/m³，NOx<50mg/m³，达标《大气磅礴环保问题物条件化释放条件》（GB16297-1996）条件。 四、领域研究进展与未来生活發展市场趋势 当今，含氟工业废气治理工艺已相对比较较为成熟，但领域仍要面临低于击败： 低直接费用快速技术应用消费需求 ：当前湿法清理执行成本投入较高，干法吸咐剂回收系统待提高。 资源英文化巧用 ：如回笼氟硅酸分离纯化氟盐，实现目标废物回收影视资源化再生。 智力化抑制 ：确认在线平台评估与自然自动调节，提升工作体统稳固性。 未来发展，现在安全条件趋严，含氟工业废气除理将向 高化、低万元产值能耗、能源化 目标方向经济发展，团体加工过程（如等铁离子体+促使脱色）或将变成 论述热度。 五、预期结果 含氟印刷有机尾气物净化处理需不同印刷有机尾气物含量、质量溶度选用好的技巧工艺，湿法降解实用以高质量溶度含酸性印刷有机尾气物，干法吸更适当低质量溶度简化印刷有机尾气物。凭借主要表现例子不难发现，组合成技巧工艺能更有效加快清除成功率，抓好达到污染物。企业应运用自己的情况报告，选用社会经济发展趋势可以的技巧工艺方案设计，同一注意企业新技巧工艺发展趋势，以实现目标坏保与社会经济发展趋势管理效益共盈。