该晶圆制造出厂设在华东省市省市,注意产量89英寸半导体技术晶圆,单日污废水 排出量约800吨。因为产量操作过程中安全使用很大氢氧化钠对其进行晶圆蚀刻,形成污废水 中氟化物氨水浓度将高达200-300mg/L,远超发展中国家排出规定(10mg/L以內)。
废渣的成分及由来
生活污水关键来几个过程:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸银及大量巨资属
化学上机制增加光泽(CMP)电镀废水
:含纳米技术级硅颗粒状、有机的络合剂
机械设备洁净废水处理工艺
:含异丙醇、氟化物等设计物
补救新工艺方法
使用"化工滤渣+沥青混凝土滤渣+深度1过滤系统软件"3级治理系统软件:
1级治疗
:污泥脱水氯化钙和氢阳极氧化钙,变成氟化钙放置,氟化物洗去率达85%
二次处里
:添加图片PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),的还原溶液态环保问题物
三级考试加工处理
:采用多有机溶剂滤水器和灵活性碳吸出,喷水氟化物溶度动态平衡在8mg/L下类
至关重要设配其中包括:pH自动化设定程序、斜管滤渣池、板框板框压滤机(淤泥脱干)。
最中特效
内容行驶两年探测数据资料表示:
氟化物平衡氧化还原电位:7.2mg/L(如果低于國家准则)
COD的还原率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年再根据氟化钙副类产品约150吨,达成材料化根据