该厂为84英寸晶圆生育线生活配套的超去离子水系统化，每星期存在含硅焦化废水150吨。焦化废泥里虽无巨资属，但硅浓度高易结渣，且电阻值率需可达到18MΩ·cm也能制造业废水办理。原先的办理工学艺没办法要求新颁布法律的《自动化制造业水的污物废气废气规范》（GB39731-2020）格外废气废气限制值。 废气部分作用 核心破坏物 ：固体硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒度0.1-1μm） 特殊的规定要求 ：TOC<10μg/L，硼分子量<5μg/L 水体特征 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅类化合物姿态冗杂 整理工艺设计方案 改革创新用于"梯级膜剥离 +电去铁离子"乐队组合工艺流程： 微滤预除理 ：1μm瓷器膜阻止大小粒硅，通量长期保持80LMH 化合物互换硅橡胶 ：D201大孔光敏树脂考虑性树脂吸附硅酸团伙 五级RO机系统 ：1、段收售率60%，第一段适用高脱硼膜部件 EDI电去阴离子 ：电流量密度计算公式2A/m²，维持除去残余物正离子 UV紫外线杀菌消毒 ：254nmUV紫外线灯线极量40mJ/cm² 技术水平特点 开放特用阻硅剂（充分胺类符合物），延长膜严重污染时间3倍 EDI引擎改革创新流道设汁，硅取除率提拔至99.8% 线硅探讨仪（在线测量标准0.1-500μg/L）体现会员精准营销管控 执行效果 经第三点方检侧： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼水平从8μg/L高于0.3μg/L 系统环保再生资源回提取率从原40%提高了至68% 膜进行更换时间间隔延长时间至5年，年电脑运行代价减少35%