某半导集成块制造技术厂在晶圆加工制作操作过程中,适用硅烷开展硅外加所产生,排放洗洁塔所产生高质量浓度含硅废渣。废渣具有着pH价格波动大(2-11)、硅量高的优点,傳統整理手段易发现硅垢不通一些问题。
废液化学物质及的来源
生产废水主要是因素为:
消融性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢氧化反应钠
:洗條塔腐蚀性洗條液存留
顆粒硅
:納米级SiO₂溶液
痕量砷
:主料其它杂物带进去
补救艺步奏
特色化进行"两极与+膜过滤系统+挥发沉淀"工艺技术:
一层与
:用CaO调理pH至4-5,产生硅酸钙沉淀物中,硅弄掉率60%。
三级中合
:加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进步沉垫结余硅,并接用镁剂除砷。
反渗透膜整体
:0.02μm瓷器膜滤出纳米技术级硅颗粒物,通量固定在80LMH。
MVR汽化器
:原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 高盐废污水,凝结出Na₂SO₄副品牌,水循环率超90%。
终于作用
总硅从1500mg/L减少为5mg/L下列
砷分量从0.8mg/L减至0.01mg/L
系统软件无结渣启用超2年
每季度收集硝酸钠钠结晶体约800吨