某半导体技术制作的企业因晶圆难以清理步骤生产含氨废污水,容量200吨/天。废污泥里除高锰酸盐指数外还带有氟化物和微量分析巨资属,办理难度很大大。立即排放标标必须高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废气材质及源
晶圆洗涤废水处理方法(通常来源地):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工艺工业废水:含进样器铜、镍等巨资属,pH值变化大
CMP研磨机污水:含硅科粒及氟化物
清理工艺设计生产流程图
按照"生物放置+膜脱离+折点氯化"三人组合技术:
预进行处理
:加药系统CaCl2除氟,把控pH在7.5-8.
超滤膜整体
:去掉0.01μm上面的粉末物
反渗入沉淀
:将氟化物浓缩咖啡至1000mg/L及以上
折点氯化
:正确调整氯污泥脱水量,将挥发酚变为为N2
铁离子变换
:质量保障巨资属考核标准
终于使用效果
高锰酸盐指数相对稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属量小于监测限
水循环率达75%
废水导致量缩短40%