沪某半导体技术净化处理器制造出厂,晶圆粗加工过程中 中带来含硅、氟的特种焦化废水处理工艺,装修设计净化处理规模性1200吨/日。焦化废水处理工艺材质更复杂,包含有微米级硅粒状及盐酸,民俗净化处理具体方法不可标准。
焦化废水营养成分及主要来源
包括污染源物
:胶体溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
特征加工过程
:晶圆刻蚀生产生产废水(45%)、CMP电学机制抛光剂生产生产废水(40%)、机械冲刷水(15%)
治理加工工作流程步骤
什么是创新进行"化学式发展+特别膜隔离"技术应用的路线:
钙盐放置
:加药系统氯化钙剔除氟铁离子(导出CaF2悠长岁月中)
二沉池反馈
:黏结斜管沉淀池剂变现固体硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜虚报冒领微细颗粒肥料
超滤法平台
:脱盐率>98%,回收利用率75%
蒸发掉沉淀
:浓水段实现了氟化物零减排
不可能效用
氟化物密度:<8mg/L(达不到国内特级标准单位10mg/L)
硅成分:<5mg/L
水物资使用率:70%用来水方形冷却塔补充水分
危险废弃物减轻:蒸馏残留量较以往加工制作工艺 可以减少60%