半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导舒适公测服务设施涉重焦化废水——MVR直接循环系统零排该项目
工程背静
半导中低端首测业务,投资额150立米米/天,是首条半导首测生活配套涉重生活污水零排业务。首测方面的镀镍、镀铜、引线框架图进行维护清洁会造成含镍含铜生活污水,经济区规定要求"无尾水外排",产水全部使用于产线。
水环境表现形式与问题
污水以含镍主(浓硫酸浓度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH浮动大(2–12),都有光刻胶残余的的一少部分生产物。测封厂安装地点紧,需要解决配套设施占地面积小;零排寓意着浓水不土石方工程过多,必须要网上汽化成果闭环控制。
除理工学艺路线地图
全局走"分质收录 → 预除理除杂 → 催化沉垫除镍 → 净化 → UF+多级RO → MVR强迫循环往复多效蒸发 → 空调蒸发器水回收":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢阳极钝化钠绘制Ni(OH)₂析出,加上混炼钠长度气体吸附多余镍(混炼镍Ksp比氢阳极钝化镍更小,可以镍压到0.1毫克/升接下来);
乳浊液水流经多物质过虑+保安人员过虑后进UF,再进一层RO,产水一直回产线的清洗;
RO浓水(含盐+残留物巨资属)进MVR硬性反复汽化器,硬性反复能扛高含盐积垢,汽化器自身在线平台刷洗,不宜堵;
MVR空气冷却水回来回收利用池子,汽化残液委外燃烧或看作危废处理代理,整体场区无液体外排。
重要的机器设备优缺说明怎么写
MVR強制配置好于普普通通降膜减压蒸馏,配置流动速度高、冷却面很容易结镍盐/碳酸盐垢,最适合首测一种"发电量很小但污水水质杂"的场合;一梯化撬装装修设计土地征用比过去的减压蒸馏塘+多效减压蒸馏策划方案小60%以内;废气侧配建微生物滤池,把缓解池和淤泥间的废气采集而来后吸附成CO₂和水,逃避首测厂紧靠办公楼区的臭味客户投诉。
操作实际效果与成效
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《塑胶电镀影响物进行直接排放的标准》表三;都是150立米米/天产水造纸废水处理于首测产线除污,代用等量剥好水;危废处理(蒸馏残液+厌氧颗粒污泥)量比过去"石雕文化沉淀+进行直接排放"方式减约70%。对富士康侧,首测投资项目生态环保审批卡点被揍通;